연구 책임자 : 서수정
본연구는 기존의 MEMS 기반센서들을 초박, 초소형화하는 기술 및 유연센서와의 융복합을 위한 요소기술 및 이에 따른 신소재 개발을 하는 기업지원형 플랫폼을 구축하는 것임.
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 | 초박형 초소형 센서용 기판개발 |
| 2차년도 | MEMS기반 초박형 초소형 센서용 단위공정개발 |
| 3차년도 | 초박형 초소형 센서용 패키지소재/공정개발 |
| 4차년도 | 연성센서용 핵심소재/공정기술 개발 |
| 5차년도 | 연성/경성 융복합센서 요소공정 기술개발 |
| 6차년도 | 연성/경성 융복합센서 패키지 기술개발 |
연구 책임자 : 서수정
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 | 센서용소재에 대한 기초연구 및 단위공정 설계 |
| 2차년도 | 센서용소재/공정개발 및 특성향상 |
| 3차년도 | 센서용소재/공정최적화 및 융복합화를 위한 요소기술 개발 |
| 4차년도 | 융복합 센서용 소자 구조설계 |
| 5차년도 | 융복합센서개발및성능평가 |
| 6차년도 | 융복합센서신뢰성확보및사업화추진 |
연구 책임자 : 서수정
본연구는융복합센서용패키징기술을개발을통해기존의경성센서, 현재연구중인연성, 웨어러블센서의패키징기술을통해모듈소자를개발하는것이목표
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 | 센서용PKG 구조및설계응용기술연구 |
| 2차년도 | 센서용PKG 연성/ 웨어러블/ 경성패키징을위한단일공정기술개발 |
| 3차년도 | 센서용PKG 융복합을위한기초연구및핵심기술연구 |
| 4차년도 | 다양한소재, 형상기반의연성/ 웨어러블/ 경성맞춤형센서패키징을위한공정기술개발 |
| 5차년도 | 연성/ 웨어러블/ 경성interconnection을통한패키징모듈소자개발및제작평가 |
| 6차년도 | 센서별맞춤융복합패키징구현및핵심기술을이용한최적화공정개발및제작평가 |
연구 책임자 : 오용수
본연구는센서분야중융복합센서MEMS 공정기반으로한온도/ 압력/ 습도융복합환경센서개발을통하여소형화, 저전력화, 국내원천기술개발을목표로함
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 | 초소형온도/압력/습도복합환경센서구조체해석및설계 |
| 2차년도 | 초소형온도/압력/습도복합환경센서단위공정개발 |
| 3차년도 | 초소형온도/압력/습도복합환경센서공정최적화 |
| 4차년도 | 연성/ 경성융복합환경센서의개발 |
| 5차년도 | TSV기반의멀티칩패키징기술개발 |
| 6차년도 | "초소형온도/압력/습도융복합환경센서 제작및신뢰성테스트" |
연구 책임자 : 윤대호
본연구를통해단분산된나노크기의다공성구조를가진금속산화물을통해초고감도의화학센서소재를개발하는것을목표로함
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 |
다공성메탈옥사이드기반구조체합성연구 나노구조체소재합성법및물성측정법도출 |
| 2차년도 |
높은민감도, 표면적및구조적안정성을갖는다공성나노소재개발 소재의결정성향상, 도핑, 조성변화에따른다공성나노소재의감도및전기적특성분석 |
| 3차년도 |
화학가스감지를위한소재의다공성기공최적화및검증 가스종류에따른다공성나노소재의전기적특성및기계적안정성분석을통한소재최적화 |
| 4차년도 |
다공성메탈옥사이드기반화학가스센서소자구조연구 화학가스센서적용시다공성기공변화에따른센서민감도특성변화연구 |
| 5차년도 |
다공성메탈옥사이드기반화학센서제작및최적화 화학센서의물질별측정감도향상및신뢰성향상을위한공정최적화연구 |
| 6차년도 |
융복합센서용화학센서제작및소자의통합성능분석 융복합센서용가스센서의성능및센서어레이최적화평가 |
연구 책임자 : 이내응
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 |
초소형, 초저전력특성을갖는융복합센서용검출소재연구 - 3차원구조의나노복합소재합성법연구 |
| 2차년도 |
연성기판상초소형, 초저전력화학센서의채널용나노복합소재개발 - 소재검출특성평가및상온검출특성확보 |
| 3차년도 |
기체감지를통한화학센서소자의구조및공정개발 - 저전력, 초소형에적합한다이오드및저항체최적화구조개발 |
| 4차년도 |
융복합화를위한화학센서플랫폼개발 - 3차원나노복합소재기반의화학센서의융복합센서시스템적용가능플랫폼개발 |
| 5차년도 |
융복합화를위한화학센서소자의통합성능분석 - 융복합센서용화학센서어레이적용및선택성성능분석 |
| 6차년도 |
융복합화를위한패키징공정개발및화학센서신뢰성확보 - 융복합화학센서패키징공정개발및신뢰성향상연구 |
연구 책임자 : 김상우
본연구는융복합센서분야중새로운소재를기반으로한음향센서개발을통하여기존소재의단점을극복하고음향센서의국산화개발이최종목표임
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 |
높은압전특성을갖는나노소재연구 나노소재합성법및물성측정법도출 |
| 2차년도 |
높은압전성및기계적안정성을갖는나노소재개발 소재의결정성향상, 도핑, 조성변화에따른나노소재의기계적, 전기적특성분석 |
| 3차년도 |
음향감지를위한소재의최적화및검증 음압에따른나노소재의압전특성및기계적안정성분석을통한소재최적화 |
| 4차년도 |
음향시뮬레이션을통한소자구조연구 음압에따른나노소재의변형에대한시뮬레이션연구를통해구조연구및모델정립 |
| 5차년도 |
압전나노소재기반의음향센서제작및최적화 음향센서의감도및출력측정, 신뢰성향상을위한공정최적화연구 |
| 6차년도 |
융복합센서용음향센서제작및소자의통합성능분석 융복합센서용음향센서의성능및센서어레이최적화평가 |
연구 책임자 : 김선국
본연구는안정성을확보한TFT active matrix(AM) 구동회로와적외선/습도/온도센서의융복합된유연·부착형인공피부전자회로를개발하고, 저전력무선통신연동기술을통한생체신호분석기술개발을목표로함
| 구분 | 연구목표 |
|---|---|
| 1차년도 |
웨어러블공정기술개발 융복합소재기반반도체소자제작및특성분석 |
| 2차년도 |
융복합소재기반의초고감도바이오센서개발및웨어러블스마트온도센서시작품제작 센서신뢰성확보및온도센서의네트워크, 유무선연동기술최적화 |
| 3차년도 |
센서복합을위한웨어러블바이오센서및시스템개발 웨어러블센서(온도, 심박, 산소포화도등) 모델정립및성능평가 |
| 4차년도 |
융복합저전력바이오센서네트워크개발및최적화 필터, 생체신호증폭회로설계및유무선연동기술개발 |
| 5차년도 |
융복합나노바이오센서시작품제작 센서신뢰성향상을위한융복합패키징기술최적화 |
| 6차년도 |
융복합나노바이오센서사업화 임상pilot test에따른안정성확립및식약처인허가 |